水晶の鏡面研削に関する研究--EPD砥石の試作とその研削性能について

• 不破 徳人

• 池野 順一

• 渋谷 秀雄

書誌事項

タイトル別名

• スイショウ ノ キョウメン ケンサク ニ カンスル ケンキュウ EPD トイシ ノ シサク ト ソノ ケンサク セイノウ ニ ツイテ
• Mirror grinding of quartz crystal: trial manufacture of EPD grinding wheel and the grinding characteristics

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 52 (6), 333-338, 2008-06

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• mirror grinding
• silica
• alumina
• electrophoretic deposition
• CMP
• quartz crystal
• grinding wheel

詳細情報

• CRID: 1520572357215057280
• NII論文ID: 10021136747
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 9531822
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9531822
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles