GaAsのスクラッチ加工におけるクラック発生機構の結晶方位依存性 : 第2報 : 押込み加工における結晶方位依存性 Dependence of crack generation process on crystal orientation in scratching of gallium arsenide : 2^<nd> Report : Dependence of crack generation on crystal orientation in indentation test

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抄録

本研究は,GaAs半導体の研削加工におけるクラック発生機構を明らかにすることを目的としている.前報では,傾斜ステージを持ったスクラッチ加工機を試作し,これを用いたGaAsの加工実験を行った.これより,GaAsにおけるクラックの発生は結晶方位に強く依存し,その傾向はSiのそれとは大きく異なることがわかった.本報ではこの現象を静的に観察するため,ビッカース圧子による押込み加工を行った.その結果,クラックの発生は結晶方位によって大きく変化し,<100>方向で最もメジアンクラックが生じやすいことがわかった.一方,[011],[0-1-1]方向では[0-11],[01-1]方向と比較してラテラルクラックやメジアンクラックが生じやすい.また,加工痕を隣接させて加工すると,応力場の干渉によって脆性破壊が生じやすい.このため脆性破壊を生じないためには,切込み量や加工痕間の距離が極めて重要な因子となることがわかった.

This study was performed to investigate the generation process of crack in gallium arsenide (GaAs) in the grinding process. Scratching experiments of GaAs performed on a previously developed scratching machine with a tilt stage indicated that the crack generation process of GaAs is strongly dependent on the crystal orientation and is different from that of silicon. In the present study, indentation tests were performed to investigate the crack generation process. The results indicated that crack generation differed due to the crystal orientation, and median cracks were observed in the <100> directions. A large number of lateral and median cracks were generated in the [011] and [0-1-1] directions rather than the [0-11] and [01-1] directions. In addition, larger brittle fractures occurred due to the interaction of the stress field when the indentation areas were closed. These results indicated that the depth of cut and distance between indentation areas are important factors to prevent brittle fractures.

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers  

    砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers 52(7), 406-411, 2008-07-01 

    The Japan Society for Abrasive Technology

参考文献:  8件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021136822
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10192823
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09142703
  • NDL 記事登録ID
    9570897
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1147
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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