マイクロデバイスへの応用 : セラミックス集積化技術の事例 Integration of Ceramic Pastes on Microdevices

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著者

    • 申 ウソク SHIN Woosuck
    • (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門 センサインテグレーション研究グループ AIST
    • 伊豆 典哉 IZU Noriya
    • (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門 センサインテグレーション研究グループ AIST
    • 松原 一郎 MATSUBARA Ichiro
    • (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門 センサインテグレーション研究グループ AIST

収録刊行物

  • セラミックス  

    セラミックス 43(3), 188-192, 2008-03-01 

    日本セラミックス協会

参考文献:  10件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021138312
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00131516
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    0009031X
  • NDL 記事登録ID
    9403035
  • NDL 雑誌分類
    ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
  • NDL 請求記号
    Z17-206
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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