マイクロデバイスへの応用--セラミックス集積化技術の事例

• 申 ウソク

• 西堀 麻衣子

• 伊藤 敏雄

Bibliographic Information

Other Title

• マイクロデバイス エノ オウヨウ セラミックス シュウセキカ ギジュツ ノ ジレイ
• Integration of ceramic pastes on microdevices
• 特集 最新セラミックペースト技術
• トクシュウ サイシン セラミック ペースト ギジュツ

Journal

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 43 (3), 188-192, 2008-03

  東京 : 日本セラミックス協会

Keywords

• Rheology
• Ink-jet
• Dispenser
• Catalyst
• Gas sensor
• Generator

Details

• CRID: 1520853833591950720
• NII Article ID: 10021138312
• NII Book ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL BIB ID: 9403035
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9403035
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles