液晶ディスプレイ分野のクリーン化技術

• 平田 順太

書誌事項

タイトル別名

• エキショウ ディスプレイ ブンヤ ノ クリーンカ ギジュツ
• Contamination control technologies for the LCD panel process and the functional film process

収録刊行物

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 45 (5), 330-336, 2008

  東京 : 日本空気清浄協会

キーワード

• クリーンルーム
• clean room
• 静電気
• electrostatics
• 粉じん
• dust
• ガス状汚染物質
• gaseous contaminant
• 液晶
• liquid crystal

詳細情報

• CRID: 1524232505579094528
• NII論文ID: 10021150841
• NII書誌ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL書誌ID: 9387742
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9387742
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles