ダイアモンドライクカーボン(DLC)膜形成装置 Plasma Enhanced CVD System for Diamond-Like Carbon (DLC) Deposition

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 真空  

    真空 51(1), 35-36, 2008-01-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  2件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021156615
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    18822398
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
ページトップへ