ダイアモンドライクカーボン（DLC）膜形成装置

• サムコ株式会社

  サムコ株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Plasma Enhanced CVD System for Diamond-Like Carbon (DLC) Deposition

収録刊行物

• Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ

  Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ 51 (1), 35-36, 2008

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Spectroscopy
• Surfaces and Interfaces
• Instrumentation
• General Materials Science

詳細情報

• CRID: 1390282680270637568
• NII論文ID: 10021156615
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj2.51.35
• ISSN: 18824749
• ISSN: 18822398
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles