外径70mmのコンフラットフランジにマウントした加熱冷却機構付き二酸化チタン(TiO_2)単結晶ホルダー Titanium Dioxide (TiO_2) Single Crystal Holder with a Cold Trap and a Heating Mechanism Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70mm

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抄録

  We introduce a titanium dioxide (TiO<sub>2</sub>) single crystal holder with a cold trap and a heating mechanism mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. The basic design of the TiO<sub>2</sub> holder is the same with the holder for the silicon (Si) single crystal wafer [E. Kobayashi, A. Nambu, T. Kakiuchi, and K. Mase: Shinku, <b>50</b> (2007) 57]. A TiO<sub>2</sub> single crystal wafer is fixed on a Si wafer, and the TiO<sub>2</sub> is heated by the direct-current heating of the Si wafer. Using this holder we prepared clean TiO<sub>2</sub>(110)-1×1.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 51(1), 44-47, 2008-01-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021156646
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    18822398
  • NDL 記事登録ID
    9382976
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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