外径70 mm のコンフラットフランジにマウントした加熱冷却機構付き二酸化チタン(TiO2)単結晶ホルダー

  • 垣内 拓大
    総合研究大学院大学
  • 間瀬 一彦
    総合研究大学院大学 高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所 科学技術振興機構さきがけ

書誌事項

タイトル別名
  • Titanium Dioxide (TiO2) Single Crystal Holder with a Cold Trap and a Heating Mechanism Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70 mm
  • ガイケイ 70mm ノ コンフラット フランジ ニ マウントシタ カネツ レイキャク キコウ ツキ ニサンカ チタン TiO2 タンケッショウ ホルダー

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抄録

  We introduce a titanium dioxide (TiO2) single crystal holder with a cold trap and a heating mechanism mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. The basic design of the TiO2 holder is the same with the holder for the silicon (Si) single crystal wafer [E. Kobayashi, A. Nambu, T. Kakiuchi, and K. Mase: Shinku, 50 (2007) 57]. A TiO2 single crystal wafer is fixed on a Si wafer, and the TiO2 is heated by the direct-current heating of the Si wafer. Using this holder we prepared clean TiO2(110)-1×1.<br>

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参考文献 (27)*注記

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