書誌事項
- タイトル別名
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- Titanium Dioxide (TiO2) Single Crystal Holder with a Cold Trap and a Heating Mechanism Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70 mm
- ガイケイ 70mm ノ コンフラット フランジ ニ マウントシタ カネツ レイキャク キコウ ツキ ニサンカ チタン TiO2 タンケッショウ ホルダー
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抄録
We introduce a titanium dioxide (TiO2) single crystal holder with a cold trap and a heating mechanism mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. The basic design of the TiO2 holder is the same with the holder for the silicon (Si) single crystal wafer [E. Kobayashi, A. Nambu, T. Kakiuchi, and K. Mase: Shinku, 50 (2007) 57]. A TiO2 single crystal wafer is fixed on a Si wafer, and the TiO2 is heated by the direct-current heating of the Si wafer. Using this holder we prepared clean TiO2(110)-1×1.<br>
収録刊行物
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- Journal of the Vacuum Society of Japan
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Journal of the Vacuum Society of Japan 51 (1), 44-47, 2008
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205293928960
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- NII論文ID
- 10021156646
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- NII書誌ID
- AA12298652
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- ISSN
- 18824749
- 18822398
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- NDL書誌ID
- 9382976
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可