プラズマイオンプロセスシミュレーション Simulation Studies on Plasma Ion Processes

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抄録

  Recent trend in simulation studies will be reviewed briefly in the field of plasma ion processes. In plasma ion processes, materials to be processed are immersed in a plasma. Since the sheath potential structure around the material surface is one of the key parameters governing the ion processes, emphasis will be put on the dynamics of transient ion sheath after a negative voltage is applied to the materials to be processed. After describing the concept of ion sheath, a one-dimensional model for ion sheath evolution is discussed. Both analytic and numerical models will then be introduced for more complicated realistic situations. Finally, a simulation model for plasma source, which will become one of the most important topics in control of plasma parameters for ion processes, will be discussed.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 51(2), 93-98, 2008-02-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

  • <no title>

    LIEBERMAN M. A.

    Principles of Plasma Discharges and Material Processing, 1994, 1994

    被引用文献1件

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    CHEN F. F.

    Lecture Notes on Principles of Plasma Processing, 2003

    被引用文献1件

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    電気学会 プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編

    プラズマイオンプロセスとその応用

    被引用文献1件

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    中川貴嗣

    電気学会論文誌 123, 481, 2003

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    DOI 被引用文献17件

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    CLUGGISH B. P.

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    被引用文献2件

  • A pulsed inductively coupled plasma source for plasma-based ion implantation

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    MASAMUNE S.

    IEEE Trans. Plasma Science 34, 1195, 2006

    被引用文献1件

  • Pulsed metal ion source by triggerless shunting arc discharge

    YUKIMURA K.

    J. Vac. Sci. & Technol. B 17(2), 871-874, 1999

    被引用文献21件

  • はじめに

    浜口 智志

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research 80(2), 110-112, 2004-02-25

    参考文献7件 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021156793
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    18822398
  • NDL 記事登録ID
    9411236
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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