外径70mmのコンフラットフランジにマウントした簡易型金属蒸着源の製作 Simple Evaporator for Metal Evaporation Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70mm

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抄録

  We introduce a simple evaporator for metal evaporation mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of a tantalum filament, an aluminum tube with a pinhole, and a four-pin feedthrough mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 51(2), 99-101, 2008-02-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

  • <no title>

    KOBAYASHI E.

    Shinku 48, 552, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    MASE K.

    Shinku 48, 286, 2005

    被引用文献1件

  • <no title>

    KOBAYASHI E.

    Shinku 50, 57, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUJITA N.

    Shinku 50, 583, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    YATES J. T. Jr.

    Experimental Innovations in Surface Science-A Guide to Practical Laboratory Methods and Instruments, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    KOBAYASHI E.

    Surf. Sci. 601, 3589, 2007

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021156813
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    18822398
  • NDL 記事登録ID
    9411261
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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