外径70mmのコンフラットフランジにマウントした簡易型金属蒸着源の製作 Simple Evaporator for Metal Evaporation Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70mm

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抄録

  We introduce a simple evaporator for metal evaporation mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of a tantalum filament, an aluminum tube with a pinhole, and a four-pin feedthrough mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm.<br>

収録刊行物

  • 真空  

    真空 51(2), 99-101, 2008-02-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021156813
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    18822398
  • NDL 記事登録ID
    9411261
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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