パルスレーザー堆積法により作製した酸化亜鉛系透明導電膜の仕事関数制御 Work Function Controlled Transparent Conductive Films with Zinc Oxide System by Pulsed Laser Deposition Method

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著者

    • 吉田 和夫 YOSHIDA Kazuo
    • 大阪産業大学工学部電子情報通信工学科 Department of Electrical, Information and Communication, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 青木 孝憲 AOKI Takanori
    • 大阪産業大学工学部電子情報通信工学科 Department of Electrical, Information and Communication, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 鈴木 晶雄 [他] SUZUKI Akio
    • 大阪産業大学工学部電子情報通信工学科 Department of Electrical, Information and Communication, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 松下 辰彦 MATSUSHITA Tatsuhiko
    • 大阪産業大学工学部電子情報通信工学科 Department of Electrical, Information and Communication, College of Engineering, Osaka Sangyo University

抄録

  Approximately 200-nm-thick transparent conducting GZO films (ZnO doped with 5 wt.% Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) have been deposited on glass substrates at room temperature using a pulsed laser deposition (PLD) using Nd:YAG laser (λ=1064 nm). It was recognized that the work function of the GZO films increased from 4.6 eV for the as-deposited state to 5.1 eV for the annealed state at 400°C.<br>

収録刊行物

  • 真空  

    真空 51(3), 172-174, 2008-03-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021156988
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    18822398
  • NDL 記事登録ID
    9471502
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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