金属/高誘電率絶縁膜ゲートスタックの光電子分光分析 Photoemission Study of metal/high-k Dielectric Gate Stack

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著者

    • 宮崎 誠一 MIYAZAKI Seiichi
    • 広島大学大学院先端物質科学研究科 Department of Semiconductor Electronics and Integration Science Graduate School of Advanced Sciences of Matter, Hiroshima University

収録刊行物

  • 表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan

    表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan 29(2), 84-91, 2008-02-10

    日本表面科学会

参考文献:  28件中 1-28件 を表示

  • <no title>

    High Dielectric Constant Material, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    WILK G. D.

    J. Appl. Phys. 89, 5234, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    The International Technology Roadmap for Semiconductors, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIRAISHI K.

    Tech. Dig. VLSI Symp., 2004, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    AKASAKA Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 45, L1289, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    IWAMOTO K.

    Tech. Dig. VLSI Symp., 2007, 2007

    被引用文献1件

  • <no title>

    日本化学会編

    電子分光, 1977

    被引用文献1件

  • <no title>

    日本表面科学会編

    X線光電子分光分析, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    CARDONA M. ed.

    Photoemission in Solids, 1978

    被引用文献1件

  • <no title>

    CARDONA M. ed.

    Photoemission in Solids, 1978

    被引用文献1件

  • Electron Energy Loss Structures of SiO_2

    GAUTIER-SOYER M.

    Structure and Imperfections in Amorphous and Crystalline Silicon Oxide, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    PHILLIP H. R.

    Handbook of Optical Constants of Solids, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    DISTEFANO T. H.

    Solid State Commun. 9, 2259, 1971

    被引用文献1件

  • <no title>

    YEH J. J.

    Atomic Data and Nuclear Data Table, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAZAKI S.

    ECS Trans. 3, 171, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    WILLIAMS R.

    Phys. Rev. A 140, 569, 1965

    被引用文献1件

  • <no title>

    ALEY J. L.

    Jpn. J. Appl. Phys. 34, L653, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    ROBERTSON J.

    J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1785, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    HILLEBRECHIT F. U.

    Phys. Rev. B 27, 2180, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    OHTA A.

    Extended Abstract of Int Workshop Dielectic Thin Film, 2006, 2006

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAZAKI S.

    Microelec. Eng. 48, 63, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAZAKI S.

    Appl. Surf. Sci. 190, 60, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    SUGIMURA M.

    Extended Abstract of Int. Conf. on. Solid State Devices and Materials (Tokyo, 2004), 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAZAKI S.

    Appl. Surf. Sci. 113/114, 585, 1997

    DOI 被引用文献21件

  • <no title>

    MIYAZAKI S.

    Technol. B 19(6), 2212, 2001

    DOI 被引用文献18件

  • <no title>

    WINER K.

    Phys. Rev. B 38, 7680, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    WINER K.

    Phys. Rev. Lett. 60, 2697, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAZAKI S.

    Appl. Phys. Lett. 68, 1247, 1996

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021165454
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    9379517
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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