金属/高誘電率絶縁膜ゲートスタックの光電子分光分析

• 宮崎 誠一

書誌事項

タイトル別名

• キンゾク コウユウデンリツ ゼツエンマク ゲート スタック ノ コウデンシ ブンコウ ブンセキ
• Photoemission study of metal/high-k dielectric gate stack
• 特集 界面エレクトロニクス
• トクシュウ カイメン エレクトロニクス

収録刊行物

• 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編

  表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 29 (2), 84-91, 2008-02

  東京 : 日本表面科学会

キーワード

• energy band alignment
• band gap energy
• work function
• defect state density
• total photoelectron yield spectroscopy
• PYS

詳細情報

• CRID: 1523388080658732672
• NII論文ID: 10021165454
• NII書誌ID: AN00334149
• ISSN: 03885321
• NDL書誌ID: 9379517
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9379517
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles