エッチング技術を駆使した微細なモノづくり Overview of Etching Process for Fabricating Microstructures

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  • 表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan 59(2), 84-87, 2008-02-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

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    中山一雄

    機械加工, 1997

    被引用文献1件

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    藤田博之

    センサ マイクロマシン工学, 2005

    被引用文献1件

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    江刺正喜

    マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス, 1992

    被引用文献1件

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    TANAKA H.

    Sensors and Actuators A 114, 516, 2004

    被引用文献1件

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    PUECH M.

    Tech. digest of Transducers'2007, 2007

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    KOIDE A.

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    KUTCHOUKOV V. G.

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    KASAI T.

    Tech. digest of Transducers'2007, 2007

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    Sensors and Actuators A 116, 264, 2004

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    日経BP社

    NIKKEI MICRODEVICES, 2007

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    ZHANG C.

    Tech. Digest of MEMS'02, 2002

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    ABE K.

    Tech. digest of Transducers'2007, 2007

    被引用文献1件

  • Differences in anisotropic etching properties of KOH and TMAH solutions

    SHIKIDA. M.

    Sensors and Actuators 80, 179-188, 2000

    被引用文献6件

  • シリコン高周波ICのための厚膜酸化層形成プロセス

    鶴田 和弘 , 柴田 貴行 , 川原 伸章

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 125(1), 1-6, 2005-01-01

    J-STAGE DOI 参考文献6件 被引用文献1件

キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021169336
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    9370631
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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