MEMS Structure Etching by the Low Surface Tension Solution

• SAKIMA Hiromi

  Sumitomo 3M Limited

Bibliographic Information

Other Title

• 最新のエッチング技術とモノづくり　　低表面張力溶液によるＭＥＭＳ構造エッチング
• 低表面張力溶液によるMEMS構造エッチング
• テイ ヒョウメン チョウリョク ヨウエキ ニ ヨル MEMS コウゾウ エッチング

Journal

• Journal of The Surface Finishing Society of Japan

  Journal of The Surface Finishing Society of Japan 59 (2), 92-97, 2008

  The Surface Finishing Society of Japan

Keywords

• Stiction
• Sacrificial Layer
• Release Etch
• Hydrofluoric Acid
• Hydro Fluoro Ether

Details

• CRID: 1390282679095643776
• NII Article ID: 10021169374
• NII Book ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.59.92
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL BIB ID: 9370634
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9370634
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles