最新のエッチング技術とモノづくり　　深堀ドライエッチングによる微細部品形成

• 大原 淳士

  (株)デンソー 基礎研究所

• 加納 一彦

  (株)デンソー 基礎研究所

• 竹内 幸裕

  (株)デンソー 基礎研究所

書誌事項

タイトル別名

• Micro Fabrication Technique Using Deep Dry Etching Process
• 深堀ドライエッチングによる微細部品形成
• フカボリ ドライ エッチング ニ ヨル ビサイ ブヒン ケイセイ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 59 (2), 98-103, 2008

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Si
• Etching
• DRIE
• MEMS
• Microlens

詳細情報

• CRID: 1390001204118934016
• NII論文ID: 10021169383
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.59.98
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 9370635
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9370635
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles