最新のエッチング技術とモノづくり　　高速シリコン異方性エッチング液

• 外赤 隆二

  三菱ガス化学(株) 東京研究所

書誌事項

タイトル別名

• New Etchants for High Speed Anisotropic Etching of Silicon
• 高速シリコン異方性エッチング液
• コウソク シリコン イホウセイ エッチングエキ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 59 (2), 104-106, 2008

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Silicon
• Anisotropic Etching
• Etchant
• High Speed

詳細情報

• CRID: 1390282679095644672
• NII論文ID: 10021169394
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.59.104
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 9370636
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9370636
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles