垂直MRAM用スピン偏極増強用FeCo層およびMgOバリア層の結晶性向上 Improvements in Crystallinity of MgO Barrier Layer and FeCo Spin Polarization Enhancement Layer for Perpendicular MRAM

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著者

    • 大森 秀人 OHMORI Hideto
    • 東京工業大学大学院理工学研究科電子物工学専攻 Department of Pysical Electronics, Tokyo Institute of Technology
    • 羽鳥 友哉 HATORI Tomoya
    • 東京工業大学大学院理工学研究科電子物工学専攻 Department of Pysical Electronics, Tokyo Institute of Technology
    • 中川 茂樹 NAKAGAWA Shigeki
    • 東京工業大学大学院理工学研究科電子物工学専攻 Department of Pysical Electronics, Tokyo Institute of Technology

抄録

Rare-earth-transition metal (RE-TM) alloy films, such as TbFeCo and GdFeCo layers were used as perpendicularly magnetized layers for pinned and free layers in a perpendicular magnetic tunneling junction (p-MTJ). (100) oriented MgO tunneling barrier layer can be deposited on (100) oriented Fe (and FeCo) buffer layers. The (100) texture of the Fe (and FeCo) layers were enhanced by depositing them on the RE-TM layers. X-ray diffraction study clarified that MgO layers deposited on the Fe (and FeCo) layers revealed apparent (100) orientation at the early stage of the film growth. 3nm-thick MgO layer deposited on GdFeCo(100nm)/Fe(3nm) exhibited (100) texture.

収録刊行物

  • 粉体および粉末冶金  

    粉体および粉末冶金 55(2), 116-120, 2008-02-15 

    Japan Society of Powder and Powder Metallurgy

参考文献:  11件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021172712
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00222724
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05328799
  • NDL 記事登録ID
    9390107
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-274
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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