粉末焼結法による高純度透明シリカガラスの作製と真空紫外透過特性

• 藤野 茂

  九州大学大学院工学研究院化学工学部門

• 國川 晃太郎

  九州大学大学院工学府物質プロセス工学専攻

• 梶原 稔尚

  九州大学大学院工学研究院化学工学部門

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of Sintered Silica Glass and its Vacuum Ultraviolet Transparency
• フンマツ ショウケツホウ ニ ヨル コウジュンド トウメイ シリカ ガラス ノ サクセイ ト シンクウ シガイ トウカ トクセイ

抄録

Transparent silica glasses were obtained by sintering a green compact in diverse atmospheres. The green compacts were fabricated by slip-casting methods for high-purity silica glass powder. The relationships between sintering atmosphere and sintering temperature that result in transparent, sintered silica glass were shown. It was found that the transparency-forming region of sintered silica glass corresponds to a sintering temperature above 1400°C and high-vacuum (10⁻⁴ Pa) atmosphere conditions. We investigate the fabrication of transparent and hydroxyl-free silica glass by a powder-sintered method. The sintered silica glass with 10 ppm OH content exhibited the highest transmittance at 157 nm (76% for 2 mm sample thickness). Refractive index dispersion curves in the wavelength region of 0.194μm to 3.584μm are presented for the sintered silica glass by minimum deviation method.

収録刊行物

• 粉体および粉末冶金

  粉体および粉末冶金 55 (3), 216-220, 2008

  一般社団法人 粉体粉末冶金協会

キーワード

• silica glass
• powder sintering method
• VUV transmittance
• hydroxyl content
• refractive index

詳細情報

• CRID: 1390001206306984704
• NII論文ID: 10021172964
• NII書誌ID: AN00222724
• DOI: 10.2497/jjspm.55.216
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD1cXjvFCitb4%3D
• ISSN: 18809014
• ISSN: 05328799
• NDL書誌ID: 9436736
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9436736
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可