エアロゾルデポジション法による透明電気光学薄膜 Electro-Optic Transparent Films Prepared by Aerosol Deposition

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抄録

We developed functional oxide films with a large electro-optic (EO) effect for use in very small, low-power EO conversion devices. We have applied an aerosol deposition (AD) to form lead oxide films with a perovskite structure. (Pb, La) (Zr,Ti) O<SUB>3</SUB> films were deposited and systematically studied in terms of optical and EO properties. Transparent films with a large EO effect, which have acceptable transmittance loss level for use as optical devices, were obtained. In this report, we summarize recent progress and future prospects on AD for optical devices application.

収録刊行物

  • エアロゾル研究 = Journal of aerosol research  

    エアロゾル研究 = Journal of aerosol research 22(1), 20-25, 2007-03-20 

    日本エアロゾル学会

参考文献:  13件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021918026
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10041511
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09122834
  • NDL 記事登録ID
    8750225
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-1062
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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