液晶プロジェクタを用いたマスクレス露光装置によるマイクロパターン作製技術の開発 Development of micropattern fabrication technique using maskless exposure device equipped with an LCD projector

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan  

    電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2008(16), 1-4, 2008-09-11 

参考文献:  5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021923567
  • NII書誌ID(NCID)
    AA12049250
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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