液晶プロジェクタを用いたマスクレス露光装置によるマイクロパターン作製技術の開発

• 糸賀 和義

  東京女子医科大学

• 小林 純

  東京女子医科大学

• 大和 雅之

  東京女子医科大学

• 岡野 光夫

  東京女子医科大学

書誌事項

タイトル別名

• Development of micropattern fabrication technique using maskless exposure device equipped with an LCD projector

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan

  電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2008 (16), 1-4, 2008-09-11

キーワード

• フォトリソグラフィー
• 液晶プロジェクタ
• マスクレス
• マイクロパターン
• 細胞のマイクロパターニング
• 光重合
• フォトレジスト
• XYステージ
• ポリアクリルアミド

詳細情報

• CRID: 1570291225651765504
• NII論文ID: 10021923567
• NII書誌ID: AA12049250
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles