単一光源によるマイクロメカニカル共鳴器の励起および振動検出

• 李 中梁

• 王 向朝

• 劉 英明

Bibliographic Information

Other Title

• タンイツ コウゲン ニ ヨル マイクロメカニカル キョウメイキ ノ レイキ オヨビ シンドウ ケンシュツ
• Exciting and detecting vibration of silicon microresonator sensors with a single laser diode

Journal

• 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan

  光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 37 (9), 545-550, 2008-09

  東京 : 日本光学会

Keywords

• optical testing
• micromechanical resonator
• single laser diode
• excitation and detection

Details

• CRID: 1520290883846108416
• NII Article ID: 10021979899
• NII Book ID: AN00080324
• ISSN: 03896625
• NDL BIB ID: 9651118
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9651118
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles