半導体製造装置・薄型ディスプレイ製造装置用基板ホルダーの製造方法開発 Development of production method of substrate holder for manufacturing equipments of semiconductor and flat panel display

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 軽金属  

    軽金属 58(3), 117-122, 2008-03-30 

    軽金属学会

参考文献:  5件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021989028
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00069773
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    04515994
  • NDL 記事登録ID
    9440474
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-284
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ