光放射圧プローブを用いたナノCMMの開発 The Nano-CMM with a Microprobe Based on Optical Radiation Pressure Control Technique

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著者

    • 高谷 裕浩 TAKAYA Yasuhiro
    • 大阪大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, Osaka University

収録刊行物

  • 計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers  

    計測と制御 = Journal of the Society of Instrument and Control Engineers 47(9), 744-750, 2008-09-10 

    計測自動制御学会

参考文献:  13件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021991239
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00072406
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    04534662
  • NDL 記事登録ID
    9650988
  • NDL 雑誌分類
    ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学) // ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
  • NDL 請求記号
    Z14-106
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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