光放射圧プローブを用いたナノCMMの開発

• 高谷 裕浩

  大阪大学 大学院工学研究科 機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• The Nano-CMM with a Microprobe Based on Optical Radiation Pressure Control Technique
• ヒカリ ホウシャアツ プローブ オ モチイタ ナノ CMM ノ カイハツ

収録刊行物

• 計測と制御

  計測と制御 47 (9), 744-750, 2008-09-10

  公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

• ナノCMM
• 光放射圧
• マイクロプローブ
• 振動型プローブ
• マイクロ3次元形状

詳細情報

• CRID: 1390857136551173760
• NII論文ID: 10021991239
• NII書誌ID: AN00072406
• DOI: 10.11499/sicejl.47.744
• ISSN: 18838170
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 9650988
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9650988
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles