Chemistry of photolithographic imaging materials based on the chemical amplification concept

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • Journal of photochemistry and photobiology. C, Photochemistry reviews  

    Journal of photochemistry and photobiology. C, Photochemistry reviews 8(4), 157-173, 2007-12-01 

参考文献:  150件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10021992943
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11467302
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13895567
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ