MEMS流速センサを用いた密度・粘度同時計測

• 五十嵐 康一

  株式会社山武 マイクロデバイス生産開発部

書誌事項

タイトル別名

• Simultaneous Measurement System for Instantaneous Density, Viscosity and Flow Rate Using MEMS Type Enemometer
• MEMS リュウソク センサ オ モチイタ ミツド ネンド ドウジ ケイソク

収録刊行物

• 計測と制御

  計測と制御 48 (3), 243-248, 2009-03-10

  公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

• 気体センサ
• MEMS
• 流量計測
• 密度
• 粘度

詳細情報

• CRID: 1390573980505692160
• NII論文ID: 10024756874
• NII書誌ID: AN00072406
• DOI: 10.11499/sicejl.48.243
• ISSN: 18838170
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 10219346
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10219346
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles