シンポジウム報告 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

• 橋口 原

• 土屋 智由

• 高尾 英邦

書誌事項

タイトル別名

• シンポジウム ホウコク ダイ25カイ センサ マイクロマシン ト オウヨウ システム シンポジウム

抄録

記事種別: 会議・学会報告・シンポジウム

収録刊行物

• 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 129 (3), 91-98, 2009-03

  東京 : 電気学会

キーワード

• MEMS
• センサ
• アクチュエータ
• 計測
• 制御

詳細情報

• CRID: 1520009408495069824
• NII論文ID: 10024776664
• NII書誌ID: AN1052634X
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 10182872
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10182872
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles