点欠陥の自己組織化的挙動を利用した微細構造形成法

• 新田 紀子

• 谷脇 雅文

書誌事項

タイトル別名

• テンケッカン ノ ジコ ソシキカテキ キョドウ オ リヨウシタ ビサイ コウゾウ ケイセイホウ
• Nano-fabrication technique using self-organizational behavior of point defects
• 特集 [日本材料科学会]支部特集(四国地区)
• トクシュウ ニホン ザイリョウ カガッカイ シブ トクシュウ シコク チク

収録刊行物

• 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌

  材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌 45 (6), 218-221, 2008

  東京 : 日本材料科学会 ; 2002-

キーワード

• Voids
• Ion irradiation
• GaSb
• FIB
• Nano fabrication

詳細情報

• CRID: 1520572357578047360
• NII論文ID: 10024832307
• NII書誌ID: AA11602237
• ISSN: 13474774
• NDL書誌ID: 9765052
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9765052
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles