紫外光分解反応を用いた減圧・高濃度オゾンガス分解装置

• 亀田 直人

  株式会社明電舎 産業技術総合研究所

• 西口 哲也

  株式会社明電舎 産業技術総合研究所

• 森川 良樹

  株式会社明電舎

• 花倉 満

  株式会社明電舎

• 野中 秀彦

  産業技術総合研究所

• 一村 信吾

  産業技術総合研究所

書誌事項

タイトル別名

• Ozone Killer by UV-Light Irradiation for Reduced Pressure and High Concentration Ozone Gas
• シガイコウ ブンカイ ハンノウ オ モチイタ ゲンアツ コウノウド オゾンガス ブンカイ ソウチ

抄録

  We have developed a high efficiency ozone killer for reduced pressure and high concentration ozone using ultra-violet (UV) light irradiation to ozone gas. The highly concentrated ozone gas (∼100%) of 30-110 Pa with a flow rate of 50 sccm^† can be decomposed to the concentration as low as 5% by UV light (200 nm-300 nm, 15 mW/cm²) irradiation. However, the residual ozone gas concentration increases the supplied ozone flow rate, since ozone molecule must stay in the ozone killer to absorb a UV photon. The photo-type ozone killer can be practically applied to actual processes by optimizing the dimension of the killer for a given pressure and gas flow rate.<br>

収録刊行物

• Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ

  Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ 52 (4), 245-247, 2009

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Spectroscopy
• Surfaces and Interfaces
• Instrumentation
• General Materials Science

詳細情報

• CRID: 1390282680272911360
• NII論文ID: 10024898260
• NII書誌ID: AA12298652
• DOI: 10.3131/jvsj2.52.245
• ISSN: 18824749
• ISSN: 18822398
• NDL書誌ID: 10302396
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10302396
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可