終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御

• 平田 光男

  宇都宮大学 大学院 工学研究科

• 城所 隆弘

  宇都宮大学 大学院 工学研究科

• 上田 伸治

  キヤノン（株）

書誌事項

タイトル別名

• Nanoscale Servo Control for Galvano Scanner Using Final-State Control
• シュウ タン ジョウタイ セイギョ ニ ヨル ガルバノスキャナ ノ ナノスケールサーボ セイギョ

抄録

This paper proposes a new design method of nanoscale servo control for a Galvano scanner by using FFSC (frequency-shaped final-state control) method. In the Galvano scanner, it is important to reduce the residual vibration after positioning; further, this scanner must be robust to the variation of the resonance modes of the plant. In this paper, a feedforward input is designed by using FFSC by considering not only nominal performance but also robust performance. Simulations and experimental results are shown to evaluate the effectiveness of the proposed method.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）

  電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌） 129 (9), 938-944, 2009

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 終端状態制御
• ナノスケールサーボ制御
• ガルバノスキャナ

詳細情報

• CRID: 1390282679635677056
• NII論文ID: 10025102571
• NII書誌ID: AN10012320
• DOI: 10.1541/ieejias.129.938
• BIBCODE: 2009IJTIA.129..938H
• ISSN: 13488163
• ISSN: 09136339
• NDL書誌ID: 10422118
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10422118
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejias/129/9/129_9_938/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可