書誌事項
- タイトル別名
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- Blasting of affected layer of silicon surface sliced by wire electric discharge machining
- ワイヤ ホウデン スライス サレタ シリコンウェハ ノ ブラスト カコウ
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抄録
太陽電池用シリコンのマルチワイヤソーにかわる新しいスライス方法として,ワイヤ放電加工が研究されている.しかし,放電加工時にウェハ表面に変質層が形成されるため,これを除去することが課題となっている.そこで本研究では,セラミックス等の硬脆材料の加工に適用されているブラスト加工を用いて変質層の除去を試みた.その結果,変質層をブラスト加工で除去できることを明らかにするとともに,従来のマルチワイヤソーでスライスされたウェハと同程度の表面性状をもつウェハを作製することができた.
収録刊行物
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- 砥粒加工学会誌
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砥粒加工学会誌 53 (8), 494-498, 2009
社団法人 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204333695616
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- NII論文ID
- 10025103225
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 18807534
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 10367356
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可