可変自然長ばねモデルと外乱オブザーバに基づくボールねじ駆動ステージの非線形摩擦補償

• 浅海 博圭

  横浜国立大学

• 藤本 博志

  横浜国立大学

書誌事項

タイトル別名

• Nonlinear Friction Compensation of Ball Screw Driven Stage Based on Variable Natural Length Spring Model and Disturbance Observer
• カヘン シゼンチョウバネ モデル ト ガイラン オブザーバ ニ モトズク ボールネジ クドウ ステージ ノ ヒセンケイ マサツ ホショウ

抄録

Ball screw driven stages are used for industrial equipments such as machine tools and semiconductor equipments. Fast and precise positioning is necessary to enhance productivity and microfabrication technology of the system. The rolling friction of the ball screw driven stage deteriorate the positioning performance. Therefore, the control system based on the friction model is necessary. In this paper, we propose variable natural length spring model (VNLS model) as the friction model. VNLS model is simple and easy to implement as friction controller. Next, we propose multi variable natural length spring model (MVNLS model) as the friction model. MVNLS model can represent friction characteristic of the stage precisely. Moreover, the control system based on MVNLS model and disturbance observer is proposed. Finally, the simulation results and experimental results show the advantages of the proposed method.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）

  電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌） 129 (11), 1101-1108, 2009

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• ボールねじ駆動ステージ
• 非線形摩擦補償
• 外乱オブザーバ
• 転がり摩擦モデル
• 可変自然長ばねモデル
• 多段可変自然長ばねモデル

詳細情報

• CRID: 1390282679634336128
• NII論文ID: 10025533428
• NII書誌ID: AN10012320
• DOI: 10.1541/ieejias.129.1101
• ISSN: 13488163
• ISSN: 09136339
• NDL書誌ID: 10480686
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10480686
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejias/129/11/129_11_1101/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可