三次元露光技術の開発ならびに射出成形プレートによる接合検討

• 老子 真人

  スターライト工業

• 黒川 正也

  スターライト工業

• 田畑 修

  京都大学

書誌事項

タイトル別名

• Development of 3-dimensional exposure process and bonding technique of injection molded micro plate

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan

  電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2005 (1), 13-16, 2005-06-22

キーワード

• 三次元露光
• シンクロトロン放射光
• LIGA
• 射出成形
• 接合

詳細情報

• CRID: 1573950400677168128
• NII論文ID: 10025646509
• NII書誌ID: AA12049250
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles