炭化水素プラズマによるカーボンナノチューブ生成とそのプラズマ解析 : カーボンナノチューブへの流量割合の影響

• 須田 善行

  北海道大学

• 沖田 篤士

  北海道大学

• 小田 昭紀

  名古屋工業大学

• 中村 潤児

  筑波大学

• 菅原 広剛

  北海道大学

• 酒井 洋輔

  北海道大学

書誌事項

タイトル別名

• Growth of Carbon Nanotubes by Hydrocarbon Plasma and its Plasma Analysis : Influence of Gas Flow Ratio on Carbon Nanotube Growth

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2007 (80), 13-17, 2007-12-22

キーワード

• カーボンナノチューブ
• CH_4
• H_2プラズマ
• 1次元流体モデル

詳細情報

• CRID: 1570009750985047936
• NII論文ID: 10025666306
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles