水素・アルゴン混合パルスプラズマによるスズ薄膜のエッチングに関する研究

• 東 欣吾

  兵庫県立大学

• 中島 章孝

  兵庫県立大学

• 藤原 閲夫

  兵庫県立大学

書誌事項

タイトル別名

• Study of Plasma Etching by Pulsed Discharge Plasma with Hydrogen and Argon Mixed Gases for Tin Thin Film

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2008 (45), 15-20, 2008-07-05

キーワード

• プラズマエッチング
• プラズマイオンプロセス
• パルス高電圧
• パルスプラズマ
• スズ

詳細情報

• CRID: 1573668925682807552
• NII論文ID: 10025666951
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles