モンテカルロシミュレーションによる高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析

• 森 直樹

  北海道大学

• 菅原 広剛

  北海道大学

• 荒木田 大嗣

  北海道大学

• 江口 礼良

  北海道大学

• 須田 善行

  北海道大学

• 酒井 洋輔

  北海道大学

書誌事項

タイトル別名

• Monte Carlo analysis of the pressure-dependence of periodical response of the electron energy distribution in radio-frequency CF_4 plasma

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2008 (37), 7-12, 2008-03-10

キーワード

• CF_4プラズマ
• モンテカルロ法
• 荷電粒子数密度分布
• 電子エネルギー分布
• プラズマバルク

詳細情報

• CRID: 1571698600801847424
• NII論文ID: 10025769404
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles
  • KAKEN