シャンティングアークを用いた金属プラズマの生成

• 青木 宏憲

  岩手大学

• 向川 政治

  岩手大学

• 高木 浩一

  岩手大学

• 藤原 民也

  岩手大学

書誌事項

タイトル別名

• Production of metal plasma using shunting arc discharge

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会

  電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2009 (1), 1-5, 2009-05-28

キーワード

• シャンティングアーク
• プラズマイオン注入
• DLC膜
• Ti

詳細情報

• CRID: 1571698600979921536
• NII論文ID: 10026078277
• NII書誌ID: AA11404459
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles