超小型電磁駆動２軸ＭＥＭＳミラーの開発

• 飯塚 亜紀子

  （株）日立製作所　機械研究所

• 崔 成熏

  （株）日立製作所　機械研究所

• 橋爪 滋郎

  （株）日立製作所　機械研究所

• 伊藤 康博

  日立金属（株）情報部品カンパニー　開発センター

• 岡田 亮二

  （株）日立製作所　機械研究所

書誌事項

タイトル別名

• Development for 2-axis Electromagnetic Driving MEMS Mirror
• チョウコガタ デンジ クドウ 2ジク MEMS ミラー ノ カイハツ

抄録

We propose a new 2- axis electromagnetic scanning mirror that utilizes radial magnetic fields. By positioning magnets under the mirror, we were able to develop a greatly miniaturized mirror device. This device volume is 300 mm³. Moreover, the mirror driving magnetic induction can be enlarged by forming the closed magnetic field with the york and the magnets. To assemble it easily, the upper part of all magnets was assumed to be N pole. To optimize the composition of the yoke and the magnets, the magnetic induction of the space was calculated using magnetic simulation. We made the mirror using the bulk micromachining process, and did the driving experiment. The mirror scanning angle is 10 degrees at 100 mA_P-P for a resonant frequency of 6 kHz, and the frame scanning angle is 1 degree at 100 mA_P-P for a non-resonant frequency of 60 Hz. The calculation and the measurement result were almost the same.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 130 (4), 113-117, 2010

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• MEMS
• ミラー
• 電磁駆動
• 走査
• プロジェクタ

詳細情報

• CRID: 1390001204462683392
• NII論文ID: 10026231012
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.130.113
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 10651424
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10651424
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10651424
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/130/4/130_4_113/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可