クラスタイオンビームによる平坦化加工技術

• 松尾 二郎

• 瀬木 利夫

• 二宮 啓

書誌事項

タイトル別名

• クラスタイオンビーム ニ ヨル ヘイタンカ カコウ ギジュツ
• Surface smoothing with energetic cluster ion beams
• 特集 砥粒を使わない平滑化加工
• トクシュウ トリュウ オ ツカワナイ ヘイカツカ カコウ

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 54 (5), 272-275, 2010-05

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• ion beam
• cluster
• sputtering
• smoothing

詳細情報

• CRID: 1520853833061474304
• NII論文ID: 10026237187
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 10688980
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10688980
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles