エッチングによる表面微細加工

• 服部 正

書誌事項

タイトル別名

• エッチング ニ ヨル ヒョウメン ビサイ カコウ
• Fabrication of micro structure surface by etching method
• 特集 サーフェステクスチャ加工とトライボロジー
• トクシュウ サーフェステクスチャ カコウ ト トライボロジー

収録刊行物

• トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編

  トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 55 (2), 83-88,図巻頭1p, 2010

  東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-

キーワード

• MEMS
• micro electro mechanical systems
• LIGA process
• 3D microfabrication
• micro machining
• etching
• grating
• lighting panel

詳細情報

• CRID: 1520853832473919872
• NII論文ID: 10026246015
• NII書誌ID: AN10056166
• ISSN: 09151168
• NDL書誌ID: 10588950
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10588950
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles