マイクロプラズマの微細加工への応用

• 一木 隆範

書誌事項

タイトル別名

• マイクロプラズマ ノ ビサイ カコウ エ ノ オウヨウ
• Application of microplasmas to microfabrication technology
• 特集 マイクロプラズマの最前線
• トクシュウ マイクロプラズマ ノ サイゼンセン

収録刊行物

• 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌

  材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌 47 (3), 107-111, 2010

  東京 : 日本材料科学会 ; 2002-

キーワード

• マイクロプラズマ
• 微細加工
• ドライエッチング
• マスクレスエッチング

詳細情報

• CRID: 1520853832698967168
• NII論文ID: 10026403782
• NII書誌ID: AA11602237
• ISSN: 13474774
• NDL書誌ID: 10757026
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10757026
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles