マイクロプラズマの微細加工への応用 Application of Microplasmas to Microfabrication Technology

    • 一木 隆範 ICHIKI Takanori
    • 東京大学大学院工学系研究科バイオエンジニアリング専攻 Department of Bioengineering, The University of Tokyo

収録刊行物

材料の科学と工学 = Materials science and technology  

材料の科学と工学 = Materials science and technology 47(3), 107-111, 2010-06-20 

日本材料科学会

参考文献:  9件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID) :
    10026403782
  • NII書誌ID(NCID) :
    AA11602237
  • 本文言語コード :
    JPN
  • 資料種別 :
    REV
  • ISSN :
    13474774
  • NDL 記事登録ID :
    10757026
  • NDL 雑誌分類 :
    ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
  • NDL 請求記号 :
    Z14-778
  • 収録DB :
    CJP書誌  NDL