マイクロプラズマの微細加工への応用 Application of Microplasmas to Microfabrication Technology

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著者

    • 一木 隆範 ICHIKI Takanori
    • 東京大学大学院工学系研究科バイオエンジニアリング専攻 Department of Bioengineering, The University of Tokyo

収録刊行物

  • 材料の科学と工学 = Materials science and technology

    材料の科学と工学 = Materials science and technology 47(3), 107-111, 2010-06-20

    日本材料科学会

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10026403782
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11602237
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13474774
  • NDL 記事登録ID
    10757026
  • NDL 雑誌分類
    ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
  • NDL 請求記号
    Z14-778
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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