適応ノッチフィルタの開発および超精密位置決め装置への適用例

書誌事項

タイトル別名
  • テキオウ ノッチフィルタ ノ カイハツ オヨビ チョウセイミツ イチギメ ソウチ エ ノ テキヨウ レイ
  • Development of adaptive notch filters and its application for ultra precision positioning machines
  • 産業計測制御研究会 産業計測制御一般
  • サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ サンギョウ ケイソク セイギョ イッパン

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