超高精度パレットシステム"Nano チャック" : サブマイクロの繰返し精度

• 池田 実

  システム・スリーアール日本株式会社

書誌事項

タイトル別名

• "Nano-chuck" Palletizing System for Micro- and Ultraprecision Machining : Sub-Micron Repeatedly accuracy

収録刊行物

• 電気加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Electrical-machining Engineers

  電気加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Electrical-machining Engineers 45 (108), 14-15, 2011-03-31

詳細情報

• CRID: 1572261550733724288
• NII論文ID: 10028162101
• NII書誌ID: AN00151681
• ISSN: 0387754X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles