電磁加速プラズマを用いた窒化珪素の高速成膜

• 田原 弘一

• 森山 正浩

書誌事項

タイトル別名

• デンジ カソク プラズマ オ モチイタ チッカ ケイソ ノ コウソクセイ マク
• 小特集 火を操る
• ショウトクシュウ ヒ オ アヤツル

収録刊行物

• 高温学会誌 = Journal of High Temperature Society

  高温学会誌 = Journal of High Temperature Society 31 (1), 76-80, 2005

  大阪 : 高温学会

キーワード

• Silicon Nitride
• Deposition
• High Growth Rate
• Dense Film
• Electromagnetically Accelerated Plasma
• Lorentz Force
• Magneto-plasma-Dynamic Arcjet Generator

詳細情報

• CRID: 1522543655765463296
• NII論文ID: 10029252758
• NII書誌ID: AN00080051
• ISSN: 03871096
• NDL書誌ID: 7231136
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7231136
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles