触覚ディスプレイのための大変位MEMSアクチュエータ特性評価
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- 石川 寛明
- 慶応義塾大学
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- アロエット グザビエ
- 慶応義塾大学
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- 松本 泰旭
- 慶応義塾大学
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- 三木 則尚
- 慶應義塾大学
書誌事項
- タイトル別名
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- Characterization of large displacement MEMS actuators for tactile display
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会
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電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2011 (1), 7-10, 2011-07-01
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572824499857923328
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- NII論文ID
- 10029355782
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- NII書誌ID
- AA11471751
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles