電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用

• 渡部 善幸

  山形県工業技術センター

• 高橋 義行

  山形県工業技術センター

• 阿部 泰

  山形県工業技術センター

• 岩松 新之輔

  山形県工業技術センター

• 矢作 徹

  山形県工業技術センター

• 小林 誠也

  山形県工業技術センター

• 今野 俊介

  山形県工業技術センター

• 佐藤 敏幸

  山形県工業技術センター

書誌事項

タイトル別名

• Electro-magnetically Dual-axis Driven MEMS Grating, and its Application to 3D Surface Profiling with Near Infrared Low Coherence Optical Interferometry

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2011 (1), 47-50, 2011-07-01

キーワード

• 近赤外分光
• 電磁駆動
• 2軸傾斜
• MEMSグレーティング
• 低コヒーレンス干渉
• 3次元形状計測

詳細情報

• CRID: 1573105974834514944
• NII論文ID: 10029355834
• NII書誌ID: AA11471751
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles