ミリメートルサイズの細穴内面形状へのプラズマ成膜

• 上坂 裕之

書誌事項

タイトル別名

• ミリメートルサイズ ノ サイケツ ナイメン ケイジョウ エ ノ プラズマセイマク
• Plasma-assisted coating to inner surface of mm-sized narrow tubular shape
• 特集 手の届かない細管内面の加工と評価法
• トクシュウ テ ノ トドカナイ サイカン ナイメン ノ カコウ ト ヒョウカホウ

収録刊行物

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 56 (2), 90-93, 2012-02

  東京 : 砥粒加工学会

キーワード

• plasma
• coating
• millimeter
• inner surface
• microwave
• diamond-like carbon

詳細情報

• CRID: 1520009408003981696
• NII論文ID: 10030194639
• NII書誌ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL書誌ID: 023510458
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023510458
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN