WG9 : 表面粒子の清浄度クラス(SCP)の規格

• 並木 則和

書誌事項

タイトル別名

• WG9 : ヒョウメン リュウシ ノ セイジョウド クラス(SCP)ノ キカク
• WG9 : Standard for surface cleanliness by particle concentration
• 特集 ISO/TC209クリーンルームに関する国際規格の進捗状況
• トクシュウ ISO/TC209 クリーンルーム ニ カンスル コクサイ キカク ノ シンチョク ジョウキョウ

収録刊行物

• 空気清浄 : コンタミネーションコントロール

  空気清浄 : コンタミネーションコントロール 49 (5), 29-32, 2012

  東京 : 日本空気清浄協会

キーワード

• 粒子汚染
• particle contamination
• 表面清浄度
• Surface cleanliness

詳細情報

• CRID: 1521136280913593472
• NII論文ID: 10030261258
• NII書誌ID: AN00065670
• ISSN: 00235032
• NDL書誌ID: 023516597
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I023516597
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles