光硬化ポリイミドを用いた繊毛アクチュエータのCMOSポストプロセス作製

• マラペール ジュリアン

  東京大学

• 森下 賢志

  東京大学

• 安宅 学

  東京大学

• 藤田 博之

  東京大学

• 三田 吉郎

  東京大学

書誌事項

タイトル別名

• CMOS Post-Processing of Ciliary Motion Actuators of UV-patterned Polyimides

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会

  電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会 2012 (1), 71-75, 2012-06-11

キーワード

• 自立分散MEMS
• 繊毛アクチュエータ
• 光硬化ポリイミド
• 直接パターニング
• CMOS集積

詳細情報

• CRID: 1571698600744192640
• NII論文ID: 10030777430
• NII書誌ID: AA11471751
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • CiNii Articles